蔡司Sigma 300场发射扫描电镜

（1）中文名称：场发射扫描电子显微镜；英文名称：FE-SEM

（2）生产厂商:德国卡尔·蔡司股份公司；型号：Zeiss Gemini Sigma 300 VP SEM

（3）主要功能及应用：高分辨率微区形貌分析及成像，结合能谱仪可进行半定量分析；被广泛应用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等领域。

（4）主要技术指标：

分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）

加速电压：20V~30kV，连续可调，无需模式更换

电子枪：肖特基热场发射电子枪

电子束流：最大束流不小于20 nA

放大倍数：10~1000000 (底片放大倍率)，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。

样品台移动范围：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转）

真空系统：样品室真空度：高真空模式优于 2×10^-4 Pa；电子枪真空度优于 10^-7Pa 数量级。

数字图像记录系统：图像储存分辨率：最大32 k×24 k像素，图像显示：1240×768 像素；图像记录：TIFF, BMP或JPEG。